Domaine des semi-conducteurs
Plaquettes semi-conductrices et substrats optiques nettoyant les plaquettes semi-conductrices et substrats optiques lors du traitement du même processus, c'est-à-dire la matière première sous forme de découpe, de meulage et d'autres formes de traitement pour la forme souhaitée. Ce processus introduit des contaminants particulaires, qui sont difficiles à éliminer et causent de sérieux problèmes de contamination récurrente. Les contaminants à la surface des tranches de semi-conducteurs affectent la qualité des cartes de circuits imprimés, ce qui à son tour raccourcit la durée de vie des puces semi-conductrices. Les contaminants à la surface des substrats optiques affectent la qualité de l'optique et des revêtements, et peuvent entraîner une inhomogénéité énergétique et une durée de vie raccourcie. Étant donné que le nettoyage à sec au laser est sujet aux dommages de surface du substrat, cette méthode de nettoyage est moins utilisée dans le nettoyage des tranches de semi-conducteurs et des substrats optiques, et le nettoyage par voie humide au laser et le nettoyage par onde de choc au plasma laser ont des applications plus réussies dans ce domaine. Xu Chuanyi et al. a étudié le dépôt de peinture magnétique spéciale au niveau du micron en tant que film diélectrique sur la surface d'un substrat optique ultra-lisse, suivi de l'utilisation d'un nettoyage au laser pulsé, l'effet de nettoyage est meilleur, bien que ses particules d'impuretés par unité de surface de la matière particulaire augmenté, mais la taille des particules d'impuretés et la couverture de la zone ont diminué de manière significative, le procédé peut être efficace pour nettoyer les particules contaminantes au niveau du micron sur la surface du substrat optique ultra-lisse. Ping Zhang a étudié la technologie de nettoyage au plasma laser dans la distance de travail et l'énergie laser sur l'effet de nettoyage des particules polluantes de différentes tailles de particules, les résultats des tests montrent que pour le substrat de verre conducteur sur les particules de polystyrène, l'énergie optimale du laser 240 mJ distance de travail de 1,90 mm, avec l'augmentation de l'énergie laser pour nettoyer l'effet de l'augmentation est évident, et les grosses particules de polluants sont plus faciles à nettoyer.
Champ de matériaux métalliques
Nettoyage de surface de matériau métallique Nettoyage de surface de matériau métallique par rapport aux plaquettes semi-conductrices et au nettoyage de substrat optique, le nettoyage des polluants appartient à la catégorie macro. Les polluants à la surface des matériaux métalliques sont principalement la couche oxydée (couche de corrosion), la peinture, les revêtements, d'autres accessoires, etc., selon le type de polluants peuvent être divisés en polluants organiques (tels que la peinture, les revêtements) et les polluants inorganiques (tels que comme couche de corrosion). Nettoyage des contaminants de surface des matériaux métalliques principalement pour répondre aux exigences de traitement ou d'utilisation ultérieures, telles que le soudage de pièces en alliage de titane avant la nécessité d'enlever la surface du matériau d'une couche d'oxyde d'environ 10 μm d'épaisseur, la révision de l'avion doit enlever le revêtement de peinture d'origine sur la surface de la peau afin de faciliter la re-pulvérisation, les moules de pneus en caoutchouc doivent être nettoyés régulièrement pour s'assurer que la surface des particules de caoutchouc pour assurer la propreté de la surface pour assurer que la production de la qualité des pneus et la durée de vie de les moules. Le seuil d'endommagement des matériaux métalliques est supérieur au seuil de nettoyage au laser des contaminants de surface, en sélectionnant le laser de puissance approprié peut obtenir de meilleurs résultats de nettoyage, dans certains domaines ont été des applications matures. Wang Lihua et al. a étudié l'application de la technologie de nettoyage au laser dans le traitement de l'oxydation de surface en alliage d'aluminium et en alliage de titane, les résultats montrent que l'utilisation d'une densité d'énergie de 5,1 J/cm2 laser peut être utilisée pour nettoyer la surface de la couche d'oxyde de l'A{ {5}} Alliage d'aluminium H en même temps pour maintenir la bonne qualité du substrat, l'utilisation d'un mode de balayage laser pulsé d'une puissance moyenne de 100 W peut être efficace pour nettoyer la surface de la couche oxydée d'alliage de titane et améliorer la dureté superficielle du matériau. La puissance moyenne d'un laser pulsé de 100 W peut nettoyer efficacement la couche d'oxyde à la surface de l'alliage de titane et améliorer la dureté de surface du matériau par balayage. Domestique Ruike Laser, Da Nu Laser, Shenzhen Chuangxin et d'autres sociétés ont développé un équipement de nettoyage au laser a été largement utilisé dans les pneus et autres moules en caoutchouc, la couche de corrosion métallique, le nettoyage de l'huile de surface des pièces et des composants.
Le domaine des reliques culturelles
Reliques culturelles et surface de papier nettoyant les artefacts métalliques et les artefacts en pierre, etc. En raison de la longue histoire de sa surface apparaîtra comme la crasse, l'encre et d'autres polluants, ces polluants doivent être nettoyés afin de restaurer les reliques culturelles. La peinture et la calligraphie et autres papiers dans le stockage inapproprié de sa surface développeront de la moisissure et la formation de plaque, ces plaques affecteront sérieusement l'aspect original du papier, en particulier pour la valeur culturelle ou historique du papier, affecteront son appréciation et sa protection . Zhao Ying et al. étudié la faisabilité du nettoyage au laser ultraviolet des plaques de moule sur du papier de riz, les résultats des tests montrent que l'utilisation d'un balayage laser avec une densité d'énergie de 3,2 J/mm2 pendant une fois peut éliminer les plaques minces, le balayage deux fois peut être des plaques propres, mais si l'utilisation de l'énergie laser est trop élevée, elle sera endommagée lors de l'élimination des plaques en même temps que le papier de riz. Zhang Xiaotong et al. restauré avec succès un artefact en bronze doré en utilisant la méthode du film liquide à irradiation verticale au laser. Zhang Licheng et al. utilisé la technologie de nettoyage au laser dans la restauration d'une figurine féminine en terre cuite peinte de la dynastie Han. Yuan et al. ont étudié l'effet de la technologie de nettoyage au laser appliquée au nettoyage des reliques culturelles en pierre, en comparant les dommages du corps en grès avant et après le nettoyage et l'effet du nettoyage de l'encre, du nettoyage de la pollution par la fumée et du nettoyage de la pollution par la peinture respectivement.
