Intel installe le premier outil de fabrication EUV capable d'émettre des lasers plus chauds que le soleil

Le major de puces Intel a annoncé avoir achevé l'assemblage du premier scanner commercial au monde de lithographie ultraviolette extrême (EUV) à haute ouverture numérique (NA). Le dispositif améliore considérablement la résolution et la mise à l'échelle des fonctionnalités des puces de nouvelle génération en modifiant la conception optique utilisée pour projeter les images imprimées sur des tranches de silicium.
L'équipement de lithographie de 150- tonnes, qui a été assemblé dans le centre de recherche Intel D1X à Hillsboro, est actuellement en cours d'étalonnage. Il permet aux fabricants de puces de graver de minuscules motifs sur des tranches de silicium afin de créer des circuits miniatures pour les puces informatiques.
La société néerlandaise ASML est la seule entreprise au monde à fabriquer cet outil. Le modèle d'Intel est l'un des deux seuls au monde.
Les travailleurs des usines d'Intel sont connus pour leur couleur blanche et sont généralement vêtus de la tête aux pieds d'un « Bunny Suit » (Bunny Suit). Le Bunny Suit fait référence à une « combinaison de salle blanche », qui est un équipement standard pour les travailleurs dans les salles blanches et empêche les particules de la peau, des cheveux ou des vêtements d'endommager les caractéristiques microscopiques des puces informatiques.
Dans l'immense centre de recherche d'Intel à Hillsboro, un autre accessoire est récemment devenu monnaie courante : les casques.
Les travailleurs de l’usine Intel ont passé des mois à assembler un outil de fabrication massif pesant 150 tonnes. Il s'agit de l'outil de lithographie le plus avancé qui existe, l'un des deux seuls au monde, et est fabriqué par la société néerlandaise ASML.
L’appareil massif s’appelle l’outil de fabrication EUV à haute ouverture numérique (NA). C'est la taille d'un bus à deux étages dans une usine, mais ce que vous voyez n'est qu'une partie du tout. L'outil s'étend en fait au-dessus du plafond et sous le sol.
À partir de là, l'outil EUV (Extreme Ultraviolet) tire un laser sur de minuscules gouttelettes d'étain, 50,000 fois par seconde, dans une explosion d'énergie 40 fois plus chaude que la surface du soleil. La collision qui en résulte crée une ombre de lumière ultraviolette qui n’existe pas naturellement sur Terre.
Ce très grand outil de production produit ainsi quelque chose de très petit : de la lumière d’une longueur d’onde de quelques milliardièmes de mètre seulement. Ces minuscules ondes lumineuses permettent aux fabricants de semi-conducteurs de graver des résolutions plus petites que jamais sur les puces informatiques, ouvrant ainsi la voie à des générations d’ordinateurs plus puissants.
"Nous innovons à la pointe de la physique", a déclaré Jeff Birdsall, vice-président d'Intel qui participe au développement technologique de l'entreprise.
Intel est connu pour rester discret sur sa technologie de fabrication. Cette fois, il a présenté son nouveau jouet lors d'un événement commercial. Ce mois-ci, la société a invité des journalistes - et même une équipe de presse de la BBC - dans son usine de Hillsboro pour vendre au public et aux clients potentiels l'histoire de la transformation d'Intel, présentant ainsi un outil de fabrication que ses concurrents ne possèdent pas encore.
La technologie d'Intel a sérieusement déraillé au cours de la dernière décennie, en partie parce que l'entreprise a mis du temps à adopter les premiers outils EUV dans ses usines. Cela a permis aux concurrents asiatiques de prendre une longueur d'avance, tandis qu'Intel a dû payer un prix élevé pour rattraper son retard.
Intel s'est désormais engagé à investir 100 milliards de dollars dans des usines de pointe à travers le monde. Cela comprend 36 milliards de dollars pour moderniser le complexe de Hillsboro, où Intel développe une nouvelle génération de technologie de puces, ou ce qu'Intel appelle de nouveaux nœuds de processus.
Les 10 000 ingénieurs et techniciens du centre de recherche d'Intel en Oregon mettent cet argent à profit, et les nouveaux outils de lithographie sont au centre de cet effort. Chaque machine EUV coûte près de 400 millions de dollars, et Intel en aura besoin pour équiper son usine de l'Oregon et d'autres dans le monde.
Intel a des mois de travail devant lui sur le nouvel outil de lithographie, pour tester ses capacités et apprendre à l'utiliser. Les premières puces commerciales utilisant cette technologie la plus avancée ne seront pas disponibles avant au moins deux ans.