Comme nous le savons tous, il n'y a qu'un seul fabricant au monde capable de produire de la lithographie EUV, c'est l'ASML néerlandais.
Et la raison pour laquelle le seul au monde, c'est parce qu'ASML regroupera de nombreux fabricants clés, tels que la société d'optique allemande Zeiss (Zeiss), puis les États-Unis Cymer, puis le groupe allemand Tom Fast (TRUMPF ) et ainsi de suite.
ASML a lié ces fabricants à son chariot par le biais d'investissements, d'acquisitions, de participations, de la création de centres de recherche, etc., et ces fabricants, probablement les seuls fabricants au monde capables de produire ces produits, donc en fin de compte, seul ASML est capable de produire la lithographie EUV dans le monde.
Cependant, récemment, une chaîne d'approvisionnement clé d'ASML s'est rendue à Shenzhen, en Chine, pour construire une usine, sa filiale de Shenzhen s'est installée dans le parc de démonstration industrielle sino-allemand (Europe) de Baoan.
Ce fabricant est le groupe allemand Tom Fast (TRUMPF), c'est la lithographie EUV d'ASML, le seul fournisseur de source laser au monde.
Les produits TRUMPF dans la lithographie EUV, quelle importance ? Tout d'abord, laissez-moi vous expliquer le principe de la lithographie EUV, vous l'aurez compris.
Le principe de la lithographie EUV, pour le dire simplement, est centré sur trois systèmes principaux, le système de source de lumière UV EUV, le système d'objectif et le système de table.
Le processus spécifique consiste à utiliser le laser pour exciter une longueur d'onde de 13,5 nm de lumière ultraviolette extrême, puis après correction pour former un faisceau de lumière contrôlé, puis ce faisceau de lumière est projeté sur la table du photomasque, puis projeté à travers l'objectif miroir sur la table d'exposition, et enfin gravé le circuit sur la plaquette de silicium recouverte de résine photosensible.
L'un des systèmes de source de lumière UV EUV est obtenu en bombardant une gouttelette de métal d'étain (Sn) avec un laser CO2 d'une puissance de 30 kW, en l'évaporant dans un plasma et en obtenant enfin la lumière EUV de longueur d'onde de 13,5 nm.
Ce laser CO2 de 30 kW est fourni par TRUMPF, unique en son genre au monde.
Ne sous-estimez pas ce laser CO2, il comporte 457 329 pièces, la longueur du câble dans le système peut atteindre 7 322 mètres et le poids est de 17 090 kg, ce qui est l'un des composants de base les plus importants de la lithographie EUV.
Maintenant, TRUMPF a couru en Chine pour construire une usine, l'intention est claire, c'est-à-dire optimiste quant au marché chinois du laser, et encore plus à long terme, optimiste quant au marché chinois de la lithographie, l'avenir pourrait coopérer avec la Chine pour construire la lithographie EUV .
En fait, il existe déjà plus d'une chaîne d'approvisionnement ASML qui se rend en Chine pour construire une usine, avant que KMWE et d'autres fabricants ne se rendent également en Chine pour construire une usine.
Selon la tendance actuelle, nous pouvons espérer avec optimisme qu'il ne faudra pas longtemps avant que la technologie de lithographie chinoise ne fasse un grand pas en avant, et même le volume de production de lithographie EUV, peut également être attendu, pensez-vous ?
